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用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計數(shù)器”介紹

發(fā)布時間:2024-02-01 點擊量:620

用于調(diào)查附著異物和落塵的 “落塵計數(shù)器"介紹


一種特殊的測量裝置,可以測量落塵而不是浮塵。
對10μm以上的粗顆粒進行分類和計數(shù)。

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*這是與“粗顆粒計數(shù)器"不同的測量裝置。

您有這些問題嗎?


  • 即使在無塵室中工作,異物的量也沒有減少。

  • 雖然它是使用粒子計數(shù)器進行管理的,但不可能將其與缺陷關(guān)聯(lián)起來。

  • 我想創(chuàng)造一個干凈的環(huán)境,但不知道如何管理。

  • 我們很難處理從衣服等引入的異物。

通過測量落下的灰塵而不是漂浮的灰塵,可以采取針對附著異物的對策!

如果您想減少產(chǎn)品上附著的異物量,則應使用落塵計數(shù)器而不是顆粒計數(shù)器進行測量。

原因是:

① 導致附著異物的粗顆粒較大,范圍為 10 μm 至 100 μm,無法用顆粒計數(shù)器測量。

② 大顆粒不會漂浮在空氣中,而是沉降并成為落塵。

上面提到了兩個。

此外,ISO14644-17自2021年2月起頒布,可以直接使用引起缺陷的粗顆粒作為管理指標。(點擊這里查看ISO14644-17中列出的PDR和PDRL之間的關(guān)系)

因此,通過測量落下的灰塵而不是空氣中微小的漂浮灰塵,可以管理附著的異物。

什么是落塵計數(shù)器?


這是一種特殊的測量裝置,可以測量掉落的粗顆粒而不是漂浮的灰塵。

利用樣品收集板(4英寸硅片),利用粗顆粒的沉降特性,對下落的10μm以上的粗顆粒進行分級計數(shù)。

它可以在任何可以放置硅晶圓的地方進行評估。

*硅晶片:圓盤狀樣品板,是表面平整度和耐熱性優(yōu)異的半導體基板。

本機是專門利用硅片樣品對10μm至100μm粗顆粒進行分類和計數(shù)的測量設(shè)備。

對于頭發(fā)等100μm以上的異物,由于其形狀和重量,不適合使用硅片作為樣品。

建議使用“DUSCAR®100 BLACK"來調(diào)查較大的異物。

落塵計數(shù)器陣容



DTSP10-02DTSP10-03
最小可測量粒徑10μm10μm

粒度分級10μm、30μm、50μm、100μm

10μm、30μm、50μm、100μm
可在11~99μm*3范圍內(nèi)任意設(shè)定值
兼容晶圓尺寸4英寸4英寸2英寸*4)
最大測量面積φ80mmφ80mmφ30mm
修剪功能是的是的沒有任何
顯示切換沒有任何有(可單獨顯示)

*3) 任意分類設(shè)定的閾值是從校準曲線中獲得的值,無法保證計數(shù)效率。

*4) 僅在 4 英寸區(qū)域內(nèi)保證計數(shù)效率,對于 2 英寸區(qū)域無法保證計數(shù)效率,計數(shù)效率受到限制。

▼DTSP10-02▼DTSP10-03
落塵計數(shù)器測量①落塵計數(shù)器測量②


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