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日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

產品型號:

所屬分類:物理性能檢測儀

產品時間:2024-09-06

簡要描述:日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731
極小面積的高精度測量和出色的可操作性
大尺寸基板的測量
?通過使用雙重過濾器以gao精度和jia佳條件進行
測量
?通過將鼠標對準測量位置來快速對準?多任務功能甚至在測量過程中也可以創(chuàng)建報告等其他處理
?小準直儀可以測量直徑為0.05毫米的極小零件

詳細說明:

日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

 

熒光X射線膜測厚儀EX-731的特點

采用雙重過濾器

通過使用除數值濾波器以外的機械濾波器(雙重濾波器),可以在jia條件下進行測量,從而始終獲得gao的精度。

自動測量階段

通過將鼠標對準測量位置來實現快速對準。如果注冊測量位置,則可以進行連續(xù)自動測量。坐標校正和通道鏈接支持各種模式。標準板校準也可以自動測量。

完整的報告創(chuàng)建功能

通過采用MS-Windows軟件,可以輕松捕獲測量屏幕,并增強報告創(chuàng)建功能。使用多任務功能,即使在測量期間也可以進行包括報告創(chuàng)建在內的其他處理。

5種準直儀

小準直儀為0.1φmm,可以測量極小的零件。標準,0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外,有兩種特殊規(guī)格可供選擇。
? 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
? 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

自診斷功能和X射線管維護功能

使用自診斷功能,可以迅速解決設備故障。此外,增加了顯示X射線管使用時間和使用壽命的功能,以支持維護安全。

膜厚測量中的頻譜顯示

通過多通道進行光譜分析高速處理使顯示被測物的光譜變得容易。(處理速度約2-3秒)

在測量部分顯示監(jiān)控圖像

在Windows屏幕上捕獲X射線照射單元并顯示X射線照射單元。準直儀提供了改變尺寸的放大倍率功能。

可視顯示測量對象的鍍層附著力分布

三維圖形顯示可輕松查看測量對象的鍍層厚度分布。

 

 

Be 窗口X射線管(選件)提高的性能(高精度)

我們已經為熒光X射線膠片厚度計準備了Be窗口X射線管。

通過使用Be窗口X射線管,Cr測量和Ni測量的重復測量精度顯著提高。

 

與標準X射線管的比較

Sn等的高能量(高原子序數)測定與以前相同。

當測量低能量(低原子序數)的Cr和Ni時,Cr的重復性提高了約3倍,Ni的重復性提高了約2倍。

當測量兩層時,中間層中Ni的測量精度提高了約20%。

通過使用Be窗口X射線管,Cr的熒光X射線強度比常規(guī)標準設備的熒光X射線強度高大約9倍。

因此,可以在短時間內以與以前相同的精度進行測量。

請考慮使用此Be窗口X射線管。

 日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

熒光X射線膜厚計EX-731的規(guī)格

類型手動階段電動舞臺
測量頭尺寸(毫米)170 x 110300 x 280
運動量X(毫米)7080
Y(毫米)7060
Z(毫米)80(大物體高度150)50
被測物體高度(大)80(選件150)50
尺寸(毫米)600(寬)x 465(深)x 730(高)
重量(公斤)7985
樣品負荷(kg)32
電腦尺寸(毫米)機身182(W)x 383(D)x 372(H)
/顯示器412(W)x 415(D)x 432(H)
重量(公斤)主機6.8 /顯示器2.8
打印機重量(公斤)3.4
電源供應AC100V±10V的

(注)規(guī)格如有變更,恕不另行通知。

X射線源油浸式微聚焦X射線管
靶:鎢
管電壓50kV,
管電流可變
照射方式頂部垂直照射法
探測器比例柜臺
準直儀5種(自動切換類型)
0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm
(選件):0.05、0.1、0.2、0.3、0.5
,φ 
:0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ
樣品觀察CCD彩色相機
電腦兼容PC / AT的
17英寸彩色顯示器
打印機噴墨打印機
測量對象原子序數22(Ti)至82(Pb)
原子序數21以下可通過吸收法測定
過濾2種(Co,Ni)自動切換
可測范圍原子數22至24:0.02至約20μm
原子數25至40:0.01至約30μm
原子數41至51:0.02至約70μm
原子數52至82:0.05至約10μm
校正曲線自動校準曲線創(chuàng)建功能
多點校準曲線
校正功能基礎校正
應用單層鍍層測量
兩層鍍層測量
三層鍍層測量
合金膜厚成分比同時測量
化學鍍鎳測量
測量功能自動測量
輸出格式設置
頻譜測量
兩點之間的距離測量
自動表功能測量位置(XYZ)
相同圖案重復功能
原點校正功能
測量位置確認功能
自動校準
數據處理功能統(tǒng)計顯示:平均值,標準偏差,大值,小值,范圍,Cp,Cpk
直方圖
輪廓顯示
測量數據三維顯示
x-R控制圖
安全功能X射線電源鑰匙開關
故障安全功能
其他特性平臺坐標顯示
密碼功能
設備維護


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