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日本朝日分光asahi-spectra光學膜厚儀

日本朝日分光asahi-spectra光學膜厚儀

產(chǎn)品型號: OMD-1000

所屬分類:光源

產(chǎn)品時間:2024-09-07

簡要描述:日本朝日分光asahi-spectra光學膜厚儀OMD-1000
這是一臺光譜膜厚監(jiān)測儀,用于監(jiān)測在用單色光進行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設備中,并作為膜厚監(jiān)測設備完成,該設備具有氣相沉積零件制造商的專有技術。

詳細說明:

日本朝日分光asahi-spectra光學膜厚儀OMD-1000

 

這是一臺光譜膜厚監(jiān)測儀,用于監(jiān)測在用單色光進行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設備中,并作為膜厚監(jiān)測設備完成,該設備具有氣相沉積零件制造商的專有技術。

全波長范圍

在傳統(tǒng)型號中,波長選擇是濾光片類型,但是新產(chǎn)品結合了我們成熟的光譜儀,現(xiàn)在可以選擇任何波長。
膜厚變化的信號是從電壓輸出到與個人計算機兼容的數(shù)字輸出,控制機制是從手動操作到個人計算機的命令控制。此外,通過將薄膜厚度計主體通過I / F直接連接到個人計算機來控制其厚度成為可能,這是一個非常緊湊的系統(tǒng),無需像其他制造商一樣具有控制器。

特征

  • 分光鏡設計緊湊
  • 通過提高抗噪聲性(靜電放電測試耐受電壓±5 kV)實現(xiàn)高度可靠的膜厚度監(jiān)控
  • 可以通過PC上的命令自動控制
  • 通過將控制器合并到接收器主體中來實現(xiàn)高性價比

日本朝日分光asahi-spectra光學膜厚儀OMD-1000

產(chǎn)品規(guī)格

模型OMD-1000
光譜儀類型Zellny Turner類型單單色
波長范圍保證范圍:380至900 nm可操作
范圍:350至1100 nm
波長分辨率狹縫0.5mm:4.2nm [546nm]
狹縫1.0mm:8.3nm [546nm]
波長精度±1.0納米
小波長進給0.1納米
外部控制RS232C
外部輸出端子DC0-2V(滿量程)
采樣間隔100ms以上
靜電放電試驗耐電壓±5kV(實際8kV)
光源12V100W鹵素燈
光強度穩(wěn)定性±0.1%/ h以下
輸入電壓AC100V 50/60赫茲
允許輸入電壓AC85-132V
視在功率340VA以下
使用環(huán)境溫度10-35℃
濕度20-80%


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